关于涡旋式真空泵的技术交流
关于涡旋式真空泵的技术交流
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理和化学的方法来吸收被吸收容器并获得真空的设备或设备。一般来说，真空泵是一种通过各种方法来改善、生产和维持某个封闭空间的装置。
关于涡旋式真空泵的技术交流
一、涡旋真空泵的基本特点
涡旋真空泵是由涡旋压缩机演变而来的。该机构原理最早于1905年由法国人Cruex发明，由于当时的工艺技术没有应用于现实，直到20世纪80年代左右才应用于真空技术领域。结构简单，零件少，间隙小，泄漏率小，压缩比高，压需冷却水与润滑油，维护简单，可靠性高。
由于涡旋式真空泵自身型线的特点，一般情况下，涡旋式真空泵泵的抽速不超过1000L/min；抽速大于4L/s的涡旋泵一般采用双侧涡旋结构，而抽速小于4L/s的则多采用单侧涡旋结构，极限真空在1Pa左右。
二、涡旋真空泵的工作原理
涡旋真空泵的工作腔由一对型线共轭涡旋盘副啮合安装组成。涡旋盘是一种涡旋盘状结构，在盘面上有一个或几个渐开线螺旋槽。静涡盘与动涡盘交错组装在一起，静盘防旋转机构保证180°相位差。这样，一对涡旋盘副组成了无油涡旋真空泵的抽气机构。
静涡旋盘和动涡旋盘在几条直线（横截面上有几个点）上相互接触，形成几对新月形封闭腔。在曲轴驱动下，动涡旋盘绕着静涡旋盘的涡旋体中心移动，接触点沿涡旋曲面移动以吸入、压缩和排气。
在电机的驱动下，曲轴每转一圈，形成一组新的新月牙封闭腔，实现涡旋真空泵的吸气、压缩和排气循环，形成包容性和强制输送被泵气体。
三、涡旋真空泵的结构特点
涡旋真空泵结构简单，主要由五个部件组成。
①动静涡旋盘副与基座；②曲轴；③密封件；④防自转机构；⑤电机涡旋真空泵结构。
涡旋真空泵的主要运动部件只有动涡旋盘，动力传递简单，相同尺寸下运动半径小，结构简单紧凑，运行平稳，几乎无磨损，功耗小，这是其他类型的干真空泵所不具备的。
涡旋真空泵抽速速度小，不适用于有毒、易燃易爆气体、腐蚀性气体、药物、溶剂、粉末等介质环境。因此，目前涡旋真空泵主要用于分析仪器、半导体芯片生产线、液晶显示器生产线和科研设备。由于它可以直接在大气压下启动，它经常作为分子泵和小型低温泵出现。
